yy.vip易游-奕斯伟申请校准系统及校准方法专利提高工作台的中心定位的精度

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　　国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司和西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“校准系统及校准方法”的专利，公开号CN121666003A，申请日期为2025年10月。

　　专利摘要显示，本公开涉及校准系统及校准方法。在一方面中，提供了一种校准系统，包括：可移动的工作台；调整片，可拆卸地设置于工作台，该调整片包括感光区和至少一个光引导部，感光区位于调整片的中心并用于与来自光源的光束进行交互，光引导部从感光区朝向调整片的边沿延伸；至少一个传感器，设置于边沿外，以感测经由至少一个光引导部传输的光的强度；控制器，控制工作台沿第一轴线移动以及沿与第一轴线正交的第二轴线移动，并基于与从至少一个传感器接收的信号的峰值强度相对应的工作台的位置，确定第一轴线和所述第二轴线的中心坐标。由此，能够提高工作台的中心定位的精度，并由此提高晶圆的检测精度。

　　天眼查资料显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本403780万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目11次，专利信息1531条，此外企业还拥有行政许可24个。

　　西安奕斯伟硅片技术有限公司，成立于2018年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本660000万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟硅片技术有限公司参与招投标项目380次，专利信息1045条，此外企业还拥有行政许可54个。

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